21世紀經濟報道記者倪雨晴 無錫、深圳報道

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隨著國內半導體產業鏈布局深入，上游設備的關注度快速上升。今年半導體設備的業內盛會，不論從規模還是熱度都更勝往年。

近日，在2023年中國電子專用設備工業協會半導體設備年會暨產業鏈合作論壇上，參展企業數量較上屆翻了2.7倍，展示面積則為上屆的3.5倍。

現場，設備廠商、上下游企業、投資人、分析師等匯聚一堂，多位與會者向記者感慨，今年展會的規模超出以往，未預料到細分領域的半導體設備也吸引如此多的參與者。

展會增長的數據從側面反映，中國半導體設備廠商的隊伍正在逐步壯大，市場需求不斷增加。中國電子專用設備工業協會理事長、北方華創科技集團股份有限公司董事長趙晉榮談道，半導體設備是支撐電子行業發展的基石，中國半導體市場在過去11年來也規模化持續發展。尤其是近年來在日益復雜的國際形勢下，本土設備業更是取得了突破性的進步。

但是設備產業依然挑戰重重。中微半導體設備（上海）股份有限公司董事長兼首席執行官尹志堯表示，半導體設備要超前半導體制造3~5年開發新一代產品，雖然我國半導體設備經過不斷努力，已經取得了長足的進步，但外國設備仍占國內設備采購的85%左右。

多位半導體投資者則向21世紀經濟報道記者表示，近兩年半導體設備和材料都是重點賽道，但是國產化依然任重道遠。

產業快速發展

近年來國內半導體產業一直面臨著外部的打壓，近期美國又在投資領域進行限制。

對此，尹志堯總結認為，這一新政可以算是美國的“第十六招”，“目的是限制我們的集成電路和國外至少5代的差距。”

嚴峻的環境疊加國內市場的推動，國內的半導體設備產業加速前行。據中國電子專用設備工業協會對中國大陸77家主要半導體設備制造公司（年銷售收入1000萬元以上）的統計，2022年中國半導體設備的銷售收入完成了593.0億元，同比增長53.6%；半導體設備出口交貨值70.8億元，同比增長119.2%；總利潤達到149.5億元，同比增長66.1%。

其中，2022年前十家設備制造商完成銷售收入438億元，占77家合計收入73.9%。目前我國半導體設備及零部件企業的數量也已經超過200家。

拉長時間段看，從2019年到2022年，中國半導體設備銷售收入從175.1億元增長到593億元人民幣，年均增長率達到了48.3%。細分賽道中，集成電路設備銷售收入2022年達到319億元，同比增長86.1%，是所有賽道中增長速度最快，也是實現銷售收入最多的市場；同時集成電路設備也是出口交貨值最大的賽道。

中國電子專用設備工業協會常務副秘書長金存忠表示，在海外政策持續升級對華半導體管制背景下，下游用戶擔心未來斷供等風險，使用國產設備的意愿更加強烈，進一步推動了國產設備發展，同時，核心部件替代進口也加快了設備產業化進程，設備核心部件國內供應鏈正在形成并得到快速發展。

根據協會統計，以銷售額為統計口徑，2022年國產半導體設備在中國市場占有率為23%，同比增長3.4個百分點；同時，在國產設備市場占有率提升背景下，海關數據顯示，去年主要半導體設備中國進口額同比減少8.1%。其中，等離子體干法刻蝕機、化學氣相沉積設備(CVD)以及氧化、擴散、退火及其他熱處理爐進口規模位居前三，分別同比減少12.7%、11.9%和9.6%。

“預計2023年中國半導體設備進口額會繼續減少。”金存忠介紹，海關統計數據顯示，今年上半年中國主要半導體設備進口額為72.94億美元，同比減少13.3%。除分步重復光刻機、集成電路工廠專用自動搬運機器人、研磨機和切割設備外，其余設備全部負增長，等離子體干法刻蝕機上半年進口額甚至同比減少近三成。

相比設備進口額預降，國產主要半導體設備制造商訂單有望穩步增長。據協會預測，2023年國產半導體設備銷售收入增長38%左右，將達到817億元。其中，集成電路設備預計增長40%，達到450億元；其次第二大細分板塊太陽能電池片設備預計增長35%，達到310億元。

突破與挑戰

一方面，國內設備廠商正不斷崛起，包括北方華創、盛美半導體、中微公司、上海微電子裝備等半導體設備龍頭企業。

即使當前半導體產業處于低潮期，多家上市的設備公司仍逆勢增長。盛美上海公告顯示，2023年上半年公司實現凈利潤約4.39億元，同比增長85.74%；北方華創預計今年上半年實現歸母凈利潤16.7億元~19.3億元，同比增長121.30%~155.76%；中微公司預計今年半年度實現歸母凈利潤9.8億元~10.3億元，同比增加109.49%~120.18%。

增長的背后是各公司在多個賽道進行了突破。趙晉榮指出，過去幾年，國內多家龍頭骨干裝備企業在刻蝕、薄膜、清洗、注入、CMP及封裝測試等關鍵設備方面取得了突破。本土從事材料零部件的龍頭企業也呈現出快速增長的趨勢，在射頻電源、流量計、機械手、真空泵、重點檢測及精密加工精密陶瓷、精密石英、高純石墨、高純板材、特種不銹鋼及精細化工材料等方面都取得了突破性的進展。

另一方面，國內半導體設備的成長還要面對重重挑戰。產業周期層面，多位業內人士向21世紀經濟報道記者指出，當前在半導體周期底部，一些中下游制造企業在縮減資本開支，所以接下來對于硬件設備的需求會帶來一定的影響。

在產業化方面，中國電子專用設備工業協會副秘書長、積塔半導體(上海)有限公司總工程師李晉湘表示，半導體設備的研發和大規模生產應用完全不同，其中良率至關重要，如果沒有95%以上的良率，成本就不能降下來。

具體到國內的情況，李晉湘指出，我國半導體設備廠商正面臨三個挑戰：一是缺乏某類設備，不能形成體系化生產流程；二是設備齊全，但特殊工藝要求無法滿足；三是設備和工藝雖然完善，但關鍵工藝不穩定、不可靠。

同時，他還提到一個痛點，即一些需求量少難度大的設備，國內設備廠家不愿意做。雖然從經濟和技術難度上考量，設備廠商不做無可厚非，“但是競爭對手在打包賣設備，把量少難度大和量大簡單的設備綁在一起，也會對國產設備產生影響，如果不解決這個問題，量大容易做的設備也會被擠掉。”李晉湘說道。

此外，尹志堯還提到了競爭層面的問題，在他看來，惡性競爭的內卷是產業發展的絆腳石。比如用各種方式非法獲得競爭者的商業機密；企業買了供應廠商的設備，自己也開發設備，利用便利抄襲；不靠產品技術的先進性，而是靠降低價格，甚至降到成本價以下，不惜虧本競爭；盲目重復的投資造成了內卷和低成功率等等。

所以他建議需要政府和行業制定一些公平競爭的法則和規范，降低內耗，防止惡性競爭來促進產業的健康發展。

最后展望未來，對于2023年的國內半導體設備，中國電子專用設備工業協會常務副秘書長金存忠介紹了三個趨勢：2023年國產半導體設備銷售有望繼續保持增長；2023年中國大陸半導體設備進口繼續減少；主要半導體設備制造商訂單穩步增長。

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